如何為半導體應用選擇壓力傳感器?
如何為半導體應用選擇壓力傳感器
半導體行業幾乎影響著當今生活的方方面面。您每天使用的手機、計算機、電視、汽車和其他電子設備都依賴于半導體的存在,這些應用需要專業的高純度設備和儀器來確保安全、高效運行。
壓力傳感器對于半導體工藝至關重要,如何選擇適用于半導體應用的壓力傳感器?本文將重點介紹半導體應用過程中所涉及的因素,以及是什么造就了一臺優秀的壓力傳感器,以便為您的實際應用選擇合適的設備。
半導體工藝
圖片
雅斯科的壓力測量技術和產品,包括配備CVD傳感元件的高純壓力傳感器以及使用 Si-Glas? 超薄單晶硅膜片可變電容傳感元件的微差壓傳感器,在諸如氣體控制面板,氫氣壓力檢測,以及潔凈室關鍵環境控制等應用領域,為半導體制程和設備提供精確的測量和有效的保障。
半導體應用中壓力傳感器的關鍵因素
- 污染控制 -
為了降低成本并提高性能,半導體制造不斷面臨著增加晶片中電路數量和密度的挑戰。為了使電路圖案變得越來越小,在半導體工藝過程中需要進行大范圍的污染控制,以避免即使是最小的外來顆粒也不會對暴露的晶片表面造成損壞。
- 光滑的表面 -
光滑的表面減少了暴露在使用過程中的表面積,并減少了在安裝期間和重復使用后水分或異物粘附在儀器上的機會。
- 優質的材質 -
壓力傳感器的材料必須與過程介質兼容并具有可靠的質量。高純度等級的 316L 不銹鋼最常用于壓力傳感器,因為它們具有高耐腐蝕性和抗氫脆性 —— 這些因素會影響壓力傳感器的長期安全性、可重復性和穩定性。
- 安全認證 -
此外,半導體氣體可能易燃易爆有毒,因此必須選擇具有防爆認證的壓力傳感器,以解決至關重要的安全問題。
雅斯科壓力傳感器
雅斯科ZT/ZX系列高純壓力傳感器基于CVD傳感元件平臺,是超純應用的專用壓力傳感器產品,其產品特性包括能適應不同介質的接液元件材質,如316L, A286,Co-Ni 合金等,也包括VCR接頭,以及符合規范的表面光潔度和測量精度。每臺產品都經過泄漏檢測(<5 x 1012 atmcc/s)以及雙重包裝處理,確保完整性和潔凈度。
該產品系列與多種過程氣體兼容,并在長期過程測量中表現出較高的穩定性。ZX11超高純壓力變送器具有適用于危險區域的 ATEX 和 IECEX 認證證書。
起始于1852年的Ashcroft(雅斯科)公司,在全球布局制造基地,致力于結合應用需求,為本地客戶提供專業的產品與便捷的服務,幫助客戶保護流程,保護人員安全,降低使用成本。
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