Ashcroft 超高純壓力變送器和壓力表
超高純度(UHP)為何如此重要?
半導體行業的清潔度水平超過醫療和制藥行業的10,000倍甚至更多。如此高標準的要求是基于半導體制程的精密性,也是因為制程被污染所造成的損失巨大。實際上某些設備需要多達400個工藝步驟,也增加了被污染的機率。因此,半導體行業使用的超高壓氣體純度至少為99.999%。
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Ashcroft超高純壓力變送器和壓力表
Ashcroft 超高純壓力變送器ZT11和ZT16,以及28mm,50mm和63mm HPX超高純壓力表提供不銹鋼結構和接液元件,可實現超凈連接,是半導體應用中的工業氣體應用的理想選擇。
ZT11超高純壓力變送器
精度:±0.25%滿量程
量程:真空,聯程至300 psi,45 psi至3,000 psi
電氣輸出:4-20 mA
316L不銹鋼電解拋光接液元件
100%氦氣泄漏測試
潔凈室包裝
ZT16超高純壓力變送器
精度:±0.5%或1.0% 滿量程
量程:真空,聯程至150 psi,45 psi至150psi
電氣輸出:4-20 mA,1-5 VDC
316L不銹鋼電解拋光接液元件
7 Ra表面光潔度選項
100%氦氣泄漏測試
HPX 微型超高純壓力表 – 28mm
精度:±3.0%滿量程
壓力范圍:真空至30 psi / 2 bar
最高至150 psi / 10 bar
VCR內/外螺紋,固定式或可旋轉式過程連接
電解拋光316L AOD / VAR不銹鋼接液元件
100%氦氣泄漏測試
HPX 超高純壓力表 – 50mm/63mm
精度:±1.5%滿量程
量程:真空,15 psi至3000 psi
過程連接:固定式,可旋轉式
316L不銹鋼接液元件
100%氦氣泄漏測試
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