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ZL92 含氟聚合物壓力傳感器 ZL92 超高純行業壓力傳感器 ZL92 Fluoropolymer Pressure Transducer
Ashcroft ZL92 是一種壓力傳感器，設計用于需要含氟聚合物 (PTFE/PFA) 潤濕部件的半導體工藝，以提高在腐蝕性氣體和流體中使用的化學兼容性。二級隔離膜片和通風口設計將陶瓷傳感元件與腐蝕性氣體和液體隔離，從而延長了換能器的使用壽命。The Ashcroft ZL92 is a pressure transducer designed for use in semiconductor processes that require fluoropolymer (PTFE/PFA) wetted parts for improved chemical compatibility for use in corrosive gases and fluids. A secondary isolation diaphragm and vent design isolates the ceramic sensing element from corrosive gases and liquids which extends the life span of the transducer.
ZL92 含氟聚合物壓力傳感器 ZL92 超高純行業壓力傳感器 ZL92 Fluoropolymer Pressure Transducer
ZL92 用于需要使用 PTFE/PFA為接液元件的半導體工藝，以提高其在腐蝕性氣體和流體中使用的化學兼容性。
精度（端點法）±1.0% 滿量程，參考溫度為 73°F (23°C)
量程 0-45 psi 或 0-75 psi
管道連接尺寸1/4", 3/8", 1/2"
防護等級 IP54
主要特點：
- PTFE/PFA 接液部件 PTFE/PFA wetted parts
- 耐氫氟酸等化學品腐蝕
- Corrosion resistant to chemicals such as hydrofluoric acid
- 低金屬離子洗脫
- Low metal ion elution
- 與 0.25 到 0.5 英寸外徑的管道兼容
- 電容傳感器具有出色的熱穩定性
- 多種安裝選項包括管連接、壓配合螺母、擴口螺母和螺紋螺母
- 100級潔凈室包裝和雙層袋裝
應用：
半導體
清洗設備 平板顯示器 (FPD) 清洗設備
濕站
化學品供應系統
Applications:
Cleaning equipment for semiconductor
Cleaning equipment for Flat Panel Displays (FPD)
Wet stations
Chemical supply systems
規格
參考溫度
73°F (23°C)
精度
±1.0% 量程 @ 73°F (23°C)。 精度包括線性、滯后和可重復性的影響
輸出
1-5 Vdc（3 線）
4-20 mA（2 線）
壓力范圍
0-45 psi 至 0-75 psi' 為 '0-45 psi 和 0-75 psi
過程連接
管連接尺寸包括：1/4"、3/8"、1/2"
接液材料
PTFE/PFA
非接液材料
聚丙烯和 PTFE/PFA
氣密等級
IP54
ZL91 & ZL92 超高純行業壓力傳感器
Ashcroft ZL91 和 ZL92 超高純行業壓力傳感器是我們半導體產品系列的新成員。兩種型號均提供 ±1.0%滿量程，參考溫度為73°F (23°C) 的精度，多種安裝選項，并在 100 級潔凈室中組裝和包裝。
認證和批準
數據表：
數據表 – ZL92 壓力傳感器
使用說明書：
手冊 – ZL92 壓力傳感器 I&M
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