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美國Tuthill真空泵的主要應用領域

1.在多晶硅太陽能電池行業的應用

多晶硅：多晶硅鑄錠爐要求爐內的極限壓力亦必須抽到1 Pa以下，美國GT Solar公司配置的真空機組是KMBD540羅茨泵加上KT-150單級滑閥泵，機組的極限壓力可達1ｘ10-2Pa。由于多晶硅生產廠都是將幾十臺甚至于上百臺爐子集中在一個封閉的空調廠房內，所以對真空機組的振動和噪聲要求極為限嚴格，而且要求真空

機組在連續60小時下運行無故障。

由于KMBD540＋KT150羅茨滑閥機組體積小、重量

輕、噪聲低、無振動、可靠性好，所以現在國內

外所有多晶硅鑄錠爐基本上都是采用Tuthill公司

生產的羅茨滑閥機組。

2、在化工行業的應用

化工項目：如PTMEG(主要用于生產聚氨脂彈性體、氨綸和酯醚共聚彈性體)、ABS(高性能工程塑科)、PS(聚苯乙烯是熱塑性合成樹脂之一)等原材料生產，油脂化工的真空脫水、脫臭。在這一類化工行業應用中，極限真空度在10-1Pa左右，大都亦是由羅茨泵和液環泵組成中真空機組。

由于被抽氣體都是一些具有腐蝕性、毒性以及易燃、易爆的工藝介質，所以要求真空機組必須是耐腐蝕、耐可凝性蒸汽，而且還要求防爆和無任何洩漏。

3、在制藥行業溶媒回收中的應用

被抽氣體都是腐蝕性氣體、易揮發的蒸汽以及某些容易聚集的工藝氣體，由于螺桿泵泵腔內無任何工作介質，內部表面均采取防腐措施，既節能又環保，無廢液處理問題，而且溶媒還可以回收，所以螺桿真空泵己成為這一應用領域的選擇。

4、在石油行業汽油蒸汽回收裝置中的應用

真空技術在石化行業中另一個重要應用就是汽油蒸汽回收裝置，其工藝要求是在短時間內

將罐內壓力從大氣抽到30 mbar，所抽氣體為容易揮發的汽油蒸汽，所采用的真空泵均為變

螺距的干式螺桿泵。現場要求防爆，通常要求泵的運行溫度不能超過800C。

5、在空間模擬方面的應用

運載火箭、人造衛星、載人飛船、空間站、宇宙探測器以及航天飛機等都必須在地面上建立模擬空間環境的宇宙空間模擬實驗裝置，以便掌握航天器在空間工作的條件和特性，消除飛行中的各種隱患，才能確保飛行器及航天員的安全。由于空間模擬裝置其被抽容積是從幾千立方米到幾萬立方米，壓力變化從幾萬Pa到幾個Pa甚至于低于1Pa，而且被抽氣體中含有大量水蒸汽或部分氮氧化物。

由于螺桿真空泵清潔、無油、耐腐蝕、振動小、噪聲低、抽速大己成為當前大型空間模擬真空系統的首選泵種，另外為了提高真空機組的抽速和極限真空，一般都是采用羅茨泵與螺桿泵組成的真空機組。