SEMICON China 2020,派克漢尼汾等您來赴約!
6月27日至6月29日,上海新國際博覽中心將迎來國內半導體的行業盛會SEMICON China 2020。屆時,1000多家國內外半導體知名企業齊聚一堂,共同展示最新產品與技術,探討行業發展新機遇。
這場一年一度的半導體盛宴,有很多不可錯過的精彩,其中就包括位于 E6715的派克漢尼汾展臺!下面,一起來看看展臺都有哪些明星產品吧!
|
|
DISS鋼瓶接頭
● 316L不銹鋼材質,與介質接觸的部件均標有熱爐追蹤號
● 內牙螺母螺紋表面鍍銀處理,增加潤滑性
● 墊片經硬度控制及拋光處理工藝, Ra值在10左右
● 鋼瓶接頭本體部分經EP電拋光處理,可減少顆粒物的產生
● 密封部分經硬化處理 |
|
VA01高頻閥
● 使用壽命長
● 快速、穩定的響應時間(可快達2ms)
● 低發塵量、無油潤滑
● 尺寸緊湊、重量輕 |
|
PRN 擺動氣缸
● 采用KURODA密封件,減少漏氣量
● 葉片軸經過特殊熱加工,增強轉矩
● 可追加配件:緩沖裝置CRN
● 規格齊全,角度可調 |
|
PSD工業以太網型伺服驅動器
● 結構緊湊
● 同時支持PROFINET和ETHERCAT總線
● 接受旋變/編碼器/DSL絕對值等多種反饋
● 有單軸、雙軸、三軸版本可選 |
FR1000單級減壓閥
派克FR1000單級減壓閥專業應用于半導體行業晶圓制程中所需要的各種特種氣、液體的輸送和控制系統,同時也廣泛應用于石油化工、分析及實驗室等領域。
派克UHP系列產品
是根據超高純系統連接的要求設計出的無泄漏接頭。所有電拋光UltraSeal?和VacuSeal? 元件在100 級潔凈室環境下符合Federal Standard 209E “OMEGA”標準的清潔和包裝。
UHP 面密封接頭
派克UHP系列產品是根據超高純系統連接的要求設計出的無泄漏接頭。所有電拋光UltraSeal?和VacuSeal? 元件在100 級潔凈室環境下符合Federal Standard 209E “OMEGA”標準的清潔和包裝。
ASV/ASC 節能閥
派克內置脈沖開關技術的節能閥用于吹掃、除塵去靜電等場合,將節約最高50%的耗氣量;大量降低工廠壓縮空氣消耗,降低工廠運營成本,降低工廠CO2排放,為節能做貢獻。
派克200KL快換接頭
碳鋼或不銹鋼材質,平齊端面閥芯,無溢流,通徑4mm,6mm,9mm。用于水冷系統快換連接或斷開,人體工程學設計,單手操作,簡單快捷。
RIPPED 系列有鐵芯直線電機
派克RIPPED有鐵芯直線電機采用專利防齒槽效應技術,滿足大推力需求,同時保證了速度一定的平滑性。產品提供了R5\R7\R10\R16四組規格,覆蓋持續推力從40N到2230N。
密封系列
派克密封產品系列,從O形圈到復合密封結構,高純度全氟橡膠到熱塑性彈性體,擠出成型墊片到金屬密封,為半導體行業提供完整的密封解決方案。
從智能手機到產業機器人,再到超級計算機,隨著應用范圍不斷增加,半導體行業在蓬勃發展的同時,其制程工藝也不斷快速提升。然而,無論工藝如何改進,都離不開鹽酸、氫氧化鈉溶液、過氧化氫溶液,以及乙醇,丙酮等各類高純度化學品的使用。
這些高純度化學品具有強酸、強腐蝕性等特性,在其輸送系統原材料的選擇上,必須慎之又慎。PFA和PTFE因擁有出色的物化性能而進入人們的視野,它們具有抗酸抗堿、抗各種有機溶劑、耐腐蝕等特點,被視為半導體制程中化學品輸送系統的理想材料。
例如,在半導體的CMP工藝中,Slurry輸送系統的部件就可選用PFA材質。CMP又稱化學機械拋光,它能精確并均勻地把硅片拋光為需要的厚度和平坦度,其中,Slurry供應系統與之關系密切。作為一種特殊的化學研磨液,Slurry是由二氧化硅等微小顆粒懸浮在液體中形成的懸浮液,其供應系統將持續為CMP提供制程所需的化學研磨液,一旦系統出現異常,會對CMP制程造成嚴重損失。
因此,Slurry輸送系統對閥門的選用要求嚴格。比市場上同類產品相比,派克漢尼汾旗下的 22系列PFA膜閥,能更好地符合用戶需求。
派克漢尼汾旗下的22系列PFA膜閥設計巧妙,質量卓越,能夠符合半導體制程中化學品、尤其是Slurry輸送的不同要求,更少的故障以及更長的產品壽命將為客戶帶來更多的價值。
除了這些明星展品,還有電爪、空氣節省單元等產品也將亮相展會。在此,我們誠摯邀請您蒞臨參加派克漢尼汾展臺,詳細了解派克最新的產品技術與解決方案。SEMICON China 2020,讓我們不見不散!
|